Конкурсы

5 сентября 2018
Конкурс на лучшие научные проекты междисциплинарных фундаментальных исследований по теме «Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем»

Код конкурса - «мк».

Федеральное государственное бюджетное учреждение «Российский фонд фундаментальных исследований» (далее – РФФИ) объявляет о проведении конкурса на лучшие научные проекты междисциплинарных фундаментальных исследований по теме «Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем» (код темы 26-827).

Конкурсная комиссия: бюро совета РФФИ.

Форма проведения конкурса: путем подачи заявок в электронном виде в Комплексной информационно-аналитической системе РФФИ (КИАС РФФИ).

Грантополучатель: коллектив физических лиц.

Максимальный размер гранта: 6 миллионов рублей в год.

Минимальный размер гранта: 3 миллиона рублей в год.

Организация, предоставляющая условия для реализации проекта (Организация) – указанное участником конкурса в заявке российское юридическое лицо, осуществляющее научную и (или) научно-техническую деятельность, которое предоставит коллективу условия для реализации проекта в случае предоставления гранта.

Требования к участникам конкурса

1. В конкурсе могут участвовать коллективы численностью не менее 3 человек и не более 10 человек, состоящие из граждан Российской Федерации, а также иностранных граждан и лиц без гражданства, имеющих статус налогового резидента Российской Федерации, прошедшие идентификацию (оформившие Согласие на признание электронных документов, подписанных в КИАС РФФИ простой электронной подписью, равнозначными документам, составленным на бумажных носителях) по правилам РФФИ.

2. Физические лица, указанные в пункте 1., могут входить в состав не более двух коллективов для участия в конкурсе.

3.Коллектив формируется его руководителем путем направления физическим лицам предложения войти в состав коллектива через КИАС РФФИ.

Требования к руководителю коллектива

1. Руководитель коллектива не должен находиться в отношениях административной подчиненности с членами коллектива.

2. Физическое лицо может быть руководителем не более одного коллектива, представляющего проект на конкурс.

3. Руководителем коллектива не может быть физическое лицо, являющееся руководителем проекта, поддержанного ранее РФФИ по итогам конкурса проектов 2017 года комплексных междисциплинарных фундаментальных научных исследований «Молекулярные основы функционирования живых систем» и конкурса проектов ориентированных фундаментальных научных исследований «офи_м» по актуальным междисциплинарным темам и не предоставивший итоговый отчет на момент подачи заявки на участие в данном конкурсе.

4. Руководителем коллектива не может быть лицо, являющееся руководителем Организации, предоставляющей условия для реализации проекта.

Требования к проекту

1. На конкурсный отбор могут быть представлены проекты междисциплинарных фундаментальных исследований по следующим тематическим направлениям (рубрикатору конкурса):

827.1. Фундаментальные проблемы повышения степени интеграции и быстродействия УБИС.

827.2.Новые методы формирования low-k диэлектриков для использования в технологиях многоуровневой металлизации интегральных схем.

827.3. Методы контроля пористой структуры, электрических и механических свойств пористых low-k диэлектриков.

827.4. Новые металлы с низким удельным сопротивлением, высокой стойкостью к электромиграции и высокоэффективные барьерные слои для новых поколений систем металлизации интегральных схем.

827.5.Новые технологические схемы изготовления многоуровневых систем металлизации с минимальными временами задержки для суб- 7 нм технологий микроэлектроники.

827.6. Новые методы плазмохимического травления в технологии формирования многоуровневых систем металлизации интегральных схем. Процессы селективной поверхностной модификации пористых low-k пленок для процессов атомно-слоевого осаждения.

827.7. Оптика на кристалле для межсоединений верхнего уровня УБИС.

2. Срок реализации проекта – 3 года.

3. До подведения итогов конкурса проект не должен быть подан на другой конкурс РФФИ.

4.Проект не должен быть представлен на конкурс, если по своему содержанию он аналогичен проектам, ранее получившим финансовую поддержку, независимо от ее источника.

Дата и время начала подачи заявок: 10.09.2018 15:00 (МСК)

Дата и время окончания подачи заявок: 10.10.2018 23:59 (МСК)

Порядок информирования об итогах конкурса: уведомление участников конкурса о решении конкурсной комиссии в электронном виде в КИАС РФФИ и опубликование списка победителей конкурса на сайте РФФИ 28 декабря 2018 года.

Аннотация темы

Условия конкурса